所属单位名称：
湖南共创光伏科技有限公司
仪器用途：
能源，电子与测量
功能用途说明：
1.精确测量台阶高度；2.表面形态。
技术性能指标：
d100是一台接触式的探针台阶仪，可以测量1nm到1.2mm的台阶高度。最大30mm的扫描长度内迅速地定量测量2d表面形貌。z方向具有1a以下的分辨率，并且重复性精度能达到6a或者0.1%台阶高度。d-100应用了超微力技术，最小探针压力可到0.03mg。同时，d-100还能用来测量表面粗糙度和二维应力，满足研究与生产的需要。